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當前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  氣體傳感器  >  Gasboard-2060紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

簡要描述：紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號：Gasboard-2060
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新日期：2025-09-02
  • 訪  問  量：1569

詳細介紹

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應(yīng)用領(lǐng)域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測



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